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半導體擴散爐管設計製造、維修
Diffusion Furnace Heating Element OEM / Overhaul
100 ~200mm Horizontal Diffusion furnace
200~300mm Vertical Diffusion furnace
High-Temperature 高溫爐
Low-Temperature 中低溫爐管
Diffusion Furnace Heater Overhaul for TEL、Hitachi Kokusai 、ASM System
製造、維修項目
電熱線更新(Fe-Cr-Al)
PMD 或是 APM
氧化鋁(Al2O3)絕緣碍子更新
保溫材料更新(底部、頂部、側邊)
半導體、電子擴散爐專用保溫、斷熱材料
金屬外殼更新(SUS304)
水冷系統管路更新
導電端子更新(Fe-Cr-Al)