半導體擴散爐管設計製造、維修
Diffusion Furnace Heating Element OEM / Overhaul
100 ~200mm Horizontal Diffusion furnace
200~300mm Vertical Diffusion furnace
Diffusion Furnace Heater Overhaul for TEL、Hitachi Kokusai 、ASM System
製造、維修項目
電熱線更新(Fe-Cr-Al)
PMD 或是 APM
保溫材料更新(底部、頂部、側邊)
半導體、電子擴散爐專用保溫、斷熱材料